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工業(yè)廠(chǎng)房潔凈度檢測(cè)方法

發(fā)布時(shí)間：2021-11-24 229

　　伴隨著人類(lèi)物質(zhì)生活的不斷改善，潔凈技術(shù)越來(lái)越多地被應(yīng)用于在生產(chǎn)生活中，它被廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體和精密機(jī)械等對(duì)環(huán)境有很高要求的工業(yè)制造行業(yè)。對(duì)于潔凈室的各項(xiàng)性能指標(biāo)都有非常明確、嚴(yán)格的要求，不一樣的設(shè)備、工藝、安裝水平對(duì)總的效能都有不同的影響，對(duì)此就需要工程完工后進(jìn)行嚴(yán)格的竣工驗(yàn)收和測(cè)試，來(lái)檢驗(yàn)是否達(dá)到要求，以便滿(mǎn)足生產(chǎn)環(huán)境要求。

　　廠(chǎng)房潔凈度檢測(cè)項(xiàng)目主要包括：風(fēng)量、靜壓差、潔凈度、室內(nèi)溫度、相對(duì)濕度、噪聲、室內(nèi)照度和均勻度的測(cè)試。本文就以上常規(guī)檢測(cè)項(xiàng)目進(jìn)行簡(jiǎn)單介紹。

　　1、測(cè)試前準(zhǔn)備工作

　　(1）測(cè)試工作在系統(tǒng)調(diào)整好并運(yùn)行至少24小時(shí)之后進(jìn)行；

　　(2）所測(cè)試的潔凈室和凈化系統(tǒng)應(yīng)再次全面清掃；

　　(3）測(cè)試時(shí)，建設(shè)、設(shè)計(jì)、施工單位都要在場(chǎng)配合、協(xié)調(diào)；

　　(4）任何一種測(cè)試得出的潔凈度級(jí)別，必須注明測(cè)試狀態(tài)。

　　2、風(fēng)量測(cè)試

　　2.1測(cè)試儀器

　　熱球式風(fēng)速儀。

　　2.2風(fēng)量測(cè)試準(zhǔn)備

　　在試驗(yàn)前，必須檢查風(fēng)機(jī)運(yùn)行正不正常，系統(tǒng)中各部件安裝正不正確，過(guò)濾器干不干凈，所有閥門(mén)應(yīng)固定在一定的開(kāi)啟位置上，并且實(shí)際測(cè)量被測(cè)風(fēng)口和風(fēng)管尺寸。

　　2.3廠(chǎng)房潔凈度檢測(cè)方式與方法

　　對(duì)于單向流潔凈室，取離高效過(guò)濾器0.3m垂直于氣流處的截面作為采樣截面，截面上測(cè)點(diǎn)間距不宜大于0.6m，測(cè)點(diǎn)數(shù)應(yīng)大于5點(diǎn)，測(cè)點(diǎn)間距不宜大于0.6m。采用室截面平均風(fēng)速與截面乘積的方法確定送風(fēng)量，所有讀數(shù)的算術(shù)平均值。

　　對(duì)于亂流潔凈室，應(yīng)直接在送風(fēng)口過(guò)濾器下連一長(zhǎng)度為2倍以上風(fēng)口大邊長(zhǎng)度的直管段，在其出口平面按不少于6點(diǎn)布置測(cè)點(diǎn)。采用風(fēng)管法確定送風(fēng)量。

　　按下式計(jì)算風(fēng)量：

　　Q=V×F×3600

　　式中：Q為風(fēng)量（m?/h）；V為管道內(nèi)的平均風(fēng)速（m/s）；F為測(cè)定截面的凈面積（㎡）。

　　2.4測(cè)試中注意事項(xiàng)

　　(1）首先進(jìn)行風(fēng)量風(fēng)速測(cè)試，保證被測(cè)潔凈室滿(mǎn)足設(shè)計(jì)風(fēng)量風(fēng)速條件；

　　(2）測(cè)試過(guò)程中，最好采用輔助風(fēng)管法，可測(cè)的高精度的測(cè)量數(shù)據(jù)；

　　(3）一般來(lái)說(shuō)，熱球式風(fēng)速儀宜采用定點(diǎn)法測(cè)定，如面風(fēng)速不均勻，應(yīng)增加測(cè)量點(diǎn)數(shù)；

　　(4）實(shí)測(cè)計(jì)算時(shí)，風(fēng)口尺寸必須是實(shí)測(cè)尺寸。

　　2.5判定標(biāo)準(zhǔn)

　　2.5.1單向流潔凈室

　　(1）實(shí)測(cè)室內(nèi)風(fēng)速應(yīng)大于設(shè)計(jì)風(fēng)速，在設(shè)計(jì)風(fēng)速的1~1.2倍；

　　(2）總實(shí)測(cè)新風(fēng)量與設(shè)計(jì)新風(fēng)量的差距，不應(yīng)超過(guò)設(shè)計(jì)新風(fēng)量的±10%；

　　(3）截面風(fēng)速不均勻度≤0.25。

　　2.5.2亂流潔凈室

　　(1）系統(tǒng)實(shí)測(cè)風(fēng)量應(yīng)大于各自的設(shè)計(jì)風(fēng)量，在設(shè)計(jì)風(fēng)速的1~1.2倍；

　　(2）總實(shí)測(cè)新風(fēng)量和設(shè)計(jì)新風(fēng)量之差，不應(yīng)超過(guò)設(shè)計(jì)新風(fēng)量的±10%；

　　(3）室內(nèi)各風(fēng)口風(fēng)量和設(shè)計(jì)風(fēng)量的差距均不應(yīng)超過(guò)設(shè)計(jì)風(fēng)量的±15%。

　　3、靜壓力

　　3.1測(cè)試儀器

　　微壓計(jì)（儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa)。

　　3.2靜壓差作用

　　為保持潔凈室的潔凈度，使其不受鄰室污染，在潔凈室內(nèi)保持某一個(gè)高于鄰室的空氣壓力，是潔凈室區(qū)別于一般空調(diào)房間的重要特點(diǎn)。靜壓差反映的是縫隙的阻力特性。具有兩個(gè)作用：

　　(1）在關(guān)閉門(mén)窗的情況下，防止?jié)崈羰彝獾奈廴緩目p隙滲入潔凈室內(nèi)；

　　(2）確保當(dāng)門(mén)打開(kāi)時(shí)有足夠的氣流向外流動(dòng)，盡可能減少由人的進(jìn)入的瞬時(shí)帶進(jìn)來(lái)的氣流量。

　　3.3靜壓差測(cè)試方法

　　(1）潔凈室內(nèi)各門(mén)全關(guān)閉情況下進(jìn)行測(cè)定；

　　(2）從潔凈室高到低的順序逐間進(jìn)行，一直測(cè)到直通室外的房間；

　　(3）測(cè)定口在0.8m的工作高度，管口軸線(xiàn)與氣流垂直。

　　3.4判定標(biāo)準(zhǔn)

　　(1）相鄰不同級(jí)別潔凈室之間及潔凈室與非潔凈室之間的靜壓差應(yīng)不低于5Pa；

　　(2）潔凈室和室外的靜壓差應(yīng)不低于10Pa；(3）100級(jí)及其以上潔凈度的潔凈室，在室內(nèi)距門(mén)0.6m處測(cè)其含塵濃度不應(yīng)大于其級(jí)別上限。

　　4、室內(nèi)潔凈度檢測(cè)

　　為了正確評(píng)價(jià)工程的施工質(zhì)量，應(yīng)對(duì)潔凈室潔凈度級(jí)別（空態(tài)/靜態(tài)）進(jìn)行檢測(cè)。如果測(cè)試合格，證明系統(tǒng)施工質(zhì)量達(dá)到設(shè)計(jì)要求，具備向建設(shè)單位交工驗(yàn)收的條件。

　　4.1測(cè)試儀器

　　塵埃粒子計(jì)數(shù)器。

　　4.2廠(chǎng)房潔凈度檢測(cè)方法及注意事項(xiàng)

　　(1）塵埃粒子計(jì)數(shù)器，粒徑靈敏度為0.3um，測(cè)試前必須經(jīng)過(guò)標(biāo)定。室內(nèi)測(cè)定人員不應(yīng)超過(guò)3名，測(cè)定時(shí)人員必須穿潔凈工作服站在采樣點(diǎn)的下風(fēng)側(cè)靜止不動(dòng)或微動(dòng)。

　　(2）測(cè)量周期設(shè)成2分鐘以上，測(cè)點(diǎn)改變時(shí)走動(dòng)要盡量輕緩。這是為了盡量減少因測(cè)試人員的走動(dòng)或測(cè)試儀器的搬動(dòng)引起周邊空氣非正常擾動(dòng)的影響。

　　(3）確定最低采樣點(diǎn)數(shù)，按以下公式來(lái)取，原則是面積越大，測(cè)點(diǎn)越多。單向?qū)恿髦杆惋L(fēng)面面積，亂流指房間面積。當(dāng)潔凈區(qū)只有一處采樣點(diǎn)時(shí)，那么在這一點(diǎn)應(yīng)進(jìn)行至少3次。

　　(4）每個(gè)采樣點(diǎn)最小采樣量，按下式確定：

　　Vs=20×100/Cn.m

　　式中：Vs為每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量，單位L；Cn.m為被測(cè)潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的被測(cè)粒徑的限值(pc/m3)；20為在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度等級(jí)限值時(shí)，粒子顆數(shù)（pc)就可以被測(cè)出來(lái)。

　　(5）單向流潔凈室采樣口應(yīng)宜對(duì)著氣流方向，亂流潔凈室采樣口宜向上。采樣速度均應(yīng)盡可能接近室內(nèi)氣流速度。

　　(6）測(cè)點(diǎn)平面布置在距地0.8m高度，測(cè)點(diǎn)多時(shí)可向上分層布置。

　　(7）對(duì)于單向流（層流）潔凈室，測(cè)門(mén)開(kāi)啟狀態(tài)下，離門(mén)口0.6m的室內(nèi)側(cè)工作面高度的粒子數(shù)。

　　4.3數(shù)據(jù)整理

　　(1）每個(gè)測(cè)點(diǎn)的數(shù)據(jù)整理最好在測(cè)試儀器穩(wěn)定運(yùn)行的條件下連續(xù)三次采樣，取其平均值，即為該點(diǎn)的實(shí)測(cè)數(shù)值；

　　(2）空氣潔凈度檢測(cè)中，當(dāng)全室測(cè)點(diǎn)為2~9點(diǎn)時(shí)，一定要計(jì)算出每個(gè)采樣點(diǎn)的平均粒子濃度C值、所有采樣點(diǎn)的平均粒子濃度N及其標(biāo)準(zhǔn)差，導(dǎo)出95%置信上限值；如果采樣點(diǎn)超過(guò)9點(diǎn)時(shí)，則可采用算術(shù)平均數(shù)N作為置信上限值。

　　4.4注意事項(xiàng)

　　(1）凈化處理原則：能用局部?jī)艋膱?chǎng)合，就盡可能不用全面凈化；

　　(2）由于潔凈室氣流分布的不均勻和塵粒分布等不均勻性，建議把工藝布置在主流區(qū)內(nèi)；

　　(3）主要工藝可盡量布置于送風(fēng)管上風(fēng)段，上風(fēng)段相對(duì)來(lái)說(shuō)，潔凈程度比下風(fēng)段要好。

　　5、溫濕度的測(cè)試

　　5.1測(cè)試儀器

　　阿斯曼。

　　5.2廠(chǎng)房潔凈度檢測(cè)方法及注意事項(xiàng)

　　(1）測(cè)試前凈化空調(diào)系統(tǒng)必須連續(xù)正常運(yùn)行至少24小時(shí)；

　　(2）測(cè)點(diǎn)距地0.8m；

　　(3）測(cè)點(diǎn)數(shù)：非恒溫系統(tǒng)室中心1點(diǎn)，恒溫系統(tǒng)不少于5點(diǎn)，點(diǎn)間距不應(yīng)大于2m。

　　6、噪聲的測(cè)試

　　6.1測(cè)試儀器

　　聲級(jí)計(jì)和聲壓級(jí)校準(zhǔn)器。

　　6.2噪音測(cè)試條件

　　(1）生產(chǎn)設(shè)備必須處于正常工作狀態(tài)，并維持運(yùn)行狀態(tài)不變。

　　(2）室外測(cè)試時(shí)，傳聲器應(yīng)加防風(fēng)罩，風(fēng)速不得大于6m/s。

　　(3）測(cè)試過(guò)程中，應(yīng)避免或減少振動(dòng)、電磁場(chǎng)、溫度與濕度等環(huán)境因素的干擾。

　　6.3噪聲測(cè)點(diǎn)位置

　　(1）測(cè)點(diǎn)上的傳聲器，應(yīng)置于人耳位置高度。傳聲器應(yīng)指向影響較大的聲源，難于判斷聲源方位，則應(yīng)將傳聲器豎直向上。

　　(2）測(cè)潔凈室的室內(nèi)噪聲，一般在室內(nèi)局中位置附近選3個(gè)測(cè)點(diǎn)取其平均值，傳聲器應(yīng)距地面1.2m處，傳聲器應(yīng)指向影響較大的聲源。

　　(3）測(cè)潔凈室的室外噪聲，距生產(chǎn)車(chē)間建筑物外側(cè)3m~5m，距非生產(chǎn)車(chē)間建筑物外側(cè)1m。傳聲器應(yīng)距地面1.2m處，傳聲器應(yīng)指向影響較大的聲源。

　　目前，潔凈技術(shù)還是處于發(fā)展階段，還有許多東西值得我們探討，要想有一個(gè)相對(duì)比較清晰感性認(rèn)識(shí)，這都需要我們?cè)谝欢ɡ碚撝笇?dǎo)下，通過(guò)實(shí)地現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試，不斷的探討，不斷的總結(jié)經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)。

　　以上就是關(guān)于工業(yè)廠(chǎng)房潔凈度檢測(cè)方法的介紹，希望對(duì)大家有所幫助。作為擁有嚴(yán)格質(zhì)量管控體系，確保檢測(cè)報(bào)告的科學(xué)性和權(quán)威性的第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)——中科檢測(cè)，除了有開(kāi)展廠(chǎng)房潔凈度檢測(cè)以外，還提供鹽霧試驗(yàn)、光伏檢測(cè)、毒理檢測(cè)等檢測(cè)項(xiàng)目，幫助合作伙伴在競(jìng)爭(zhēng)中保持優(yōu)勢(shì)。